0371-5536 5392 0371-5519 9322
適合的應用:
化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石
化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石自支撐厚膜
化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石薄膜
化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜
產品特點：
本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備，功率密度高；
水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統能長時間穩定工作；
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；
真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；
真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統可自動控制沉積氣壓；
配備冷卻水循環系統，確保裝置高功率下可長時間**穩定運行；
系統帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設置溫度或氣壓恒定，可保存復用多達20套工藝文件；
全自動工藝控制模塊，可以穩定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體
技術指標與特性
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微波系統（法國Sairem 微波源） |
微波頻率 |
2450±25MHz |
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輸出功率 |
0.6kw~6kw 連續可調 |
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微波調諧 |
三銷釘調配器，模式轉換天線 |
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微波反射保護 |
環形器，水負載 |
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微波工作模式 |
TM013 |
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微波泄漏 |
≤ 2 mw/cm2 |
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真空系統 |
工作氣壓范圍 |
10~250Torr |
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自動穩壓范圍 |
40~250Torr |
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真空泵 |
4.4L/s 旋片式真空泵 |
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系統漏率 |
<1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過氦質譜檢漏儀檢測) |
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腔體保壓能力 |
每24 小時壓升小于0.2 乇 |
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本底極限真空 |
0.1Pa（7.5 x10-4 Torr) |
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真空測量 |
品牌薄膜規 |
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真空反應腔 |
反應腔材料及結構 |
雙層水冷不銹鋼反應腔 |
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真空密封 |
金屬密封+氟膠圈密封(取樣門) |
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反應腔內徑 |
直徑140mm |
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樣品臺窗口 |
105x50mm 長方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門 |
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觀察窗口 |
兩個端口，CF35 大口徑，180°分布 |
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測溫窗口 |
兩個窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應腔上部的 斜角向下檢測樣品臺的溫度 |
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樣品臺 |
電動升降式水冷基片臺 直徑100mm，高度可調范圍0～70mm |
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鉬基片臺直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態，等離子體火球可覆蓋 整個基片臺 |
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基片臺溫度 250～1400℃（取決于工藝參數） |
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氣路 |
選用日本進口流量計及流量控制閥 |
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系統自帶四路MFC |
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四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm |
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測溫系統 |
德國Raytek 紅外測溫系統，測溫范圍：300~1300 攝氏度 |
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系統軟件 |
配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸 屏上完成 |
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系統支持工程師和操作員兩個用戶級別，提供用戶權限管理功能 |
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系統自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護 |
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可設置多達10 套工藝配方，每套配方有40 行數據，生產流程通過工藝配方自 動控制，工藝數據可通過U 盤備份導出 |
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系統自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便 |
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全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統操作員的工作量 |
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系統安裝要求
由客戶提供以下安裝條件：
1. 氣體連接
2. 電源
a) 供電電壓：AC 380V(±10％)，頻率50Hz，三相四線，室內具有獨立的地線，
接地電阻效益4Ω，*大功率20kw
b) 建議每臺設備在1 米之外的墻上預留單獨的空氣開關，空氣開關規格：4P32A
帶漏電保護。
c) 在進行任何連接之前，應關閉系統內配電子系統。
3. 冷卻水
客戶需自備工業冷水機：
a) 制冷能力：10kw
b) 流量：>30L/min
c) 建議進水溫度：20℃，*高進水溫度<25℃
d) 入口水壓：≥5.0 kg/cm2 （或揚程>45 米）
e) 系統進水出水連接：φ19mm（寶塔接頭）
f) 為了避免因腐蝕而出現問題，建議使用純凈水
4. 系統控制用壓縮空氣需求
a) 工作氣路：用戶需自備CH4, H2, N2, O2 四路氣體，氣體壓力0.2MPa，氣體純
度由用戶根據工藝需求自行確定
b) 氣體接口：1/4”VCR 接口
深圳優普萊等離子體技術有限公司 www.uniplasma.com
UP-206 全自動微波等離子體系統產品規格書
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a) 壓縮干空氣（CDA）：系統需提供CDA 氣路，氣體壓力≥0.4MPa。
b) 接口：φ8 快插接口（氣動快插）
5. 設備排氣
a) 客戶需自備排氣通道，設備的排氣口通過KF25 接口連接到排氣通道。
驗收
1. 真空泄漏：真空腔漏率＜0.1Torr/12 小時
2. 微波泄漏：測量低于2mW/cm2 （微波輸出5kw 時）
3. 水管漏水：確認水管沒有漏水
4. 系統測試：系統可正常啟動和運行，等離子體火球均勻穩定
保修
3. 客戶需自行保證氣體、電力和水等公用設施的工程施工進度不影響設備的安裝調試，
由此引起的延期不予延長保修期。
