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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:三溫區(qū)三通道CVD混洗系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:TN-OTF-1200X-80-3F
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到?10-2?torr。
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。


○ 產(chǎn)品特點

雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷,使得殼體的表面溫度小于60

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

可開啟式,更換爐管方便


○ 技術(shù)參數(shù)

殼體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷,使得殼體的表面溫度小于60

保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

可開啟式,更換爐管方便

功率

 5 KW

電壓

 AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

*高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

*大加熱速率

≤20  ℃/min

石英管&

密封法蘭

80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)

儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門

加熱區(qū)長度

三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)

溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )  

溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")

溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 

注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。 

溫控系統(tǒng)

三個精密溫度控制器,可獨立控溫

PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序.

帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度

 +/- 1℃

真空密封系統(tǒng)

 

兩個不銹鋼密封法蘭

通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.

漏氣率 < 5 m-torr / min 

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的*小微粒直徑為0.3微米  

數(shù)字式真空顯示計

可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

氣體流量計和壓力表

 

三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流          

三路浮子量程分別為

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

內(nèi)部安裝有一混氣罐

有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門

 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量

外形尺寸

爐子: 1100 X 450 x 670mm

底部移動架: 600x600x597mm

開門斷電

 為保證使用**,該電爐為開門斷電設(shè)計    

凈重

 約 90 Kg

運輸重量

 245 lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質(zhì)量認證

CE certified

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


○ 免責(zé)聲明

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時,或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。

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