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近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池.
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
產(chǎn)品型號(hào)
TN-MSP350S-RTP
結(jié)構(gòu)
1.采用兩個(gè)溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體
2.真空腔體：350 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作
觀察窗口： 100 mm diameter
開啟方式：前開門式
3.真空法蘭采用316不銹鋼制造，電動(dòng)升降
4.兩個(gè) 5"x5" IR 加熱板，間距可調(diào)。
5.頂部樣品架可在 0 - 7 RPM 的速度下旋轉(zhuǎn)
加熱元件和載樣臺(tái)
由20個(gè)紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部
兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)
為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）
采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺(tái)，以達(dá)到較好的加熱均勻性
底部載樣臺(tái)上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料
此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)
溫控系統(tǒng)
兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序
每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
熱電偶
兩個(gè)K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸
工作溫度
每個(gè)加熱器的*高溫度：RT-950℃。
兩個(gè)加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個(gè)加熱器之間的間距：
間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速：1-20RPM
流量計(jì)
兩路浮子流量計(jì)
16 -160 mL/m
500 - 5000 mL/m
真空泵
配有一套分子泵系統(tǒng),采用一鍵式操作
600L/S，1x10-5 Torr 以上
電壓
208V 60HZ 三相
