8寸勻膠機用途：

8寸勻膠機技術參數：

供電電源	AC220V, 50Hz
樣品尺寸	*大直徑 8" (~200mm)
腔體材質	不銹鋼
上蓋（特殊要求）	數量：2個（其中1個備用，只是蓋子，不含其它） 石英材質, 便于觀察旋涂狀態
轉速	0~8000rpm 可調
加速度	100~5000rpm/s
速度分辨率	1rpm
操作模式	觸屏控制
注射泵裝置	6通道獨立控制注射泵，但注射泵的控制軟件和勻膠機兼容 適用注射器規格：1ml - 60ml *大行程：90mm 線速度范圍：7.94um/min-79.4mm/min 行程控制精度：誤差≤±0.5%（行程≥*大行程的30%） 額定線性推力：>90N
滴液裝置（特殊要求）	l  自動和可編程滴液 l  六個獨立注射器和滴液孔，無交叉污染 l  注射器的容量： 5ml到更高 l  其中2 條分配線需要**控制：可重復的分配量，每次*小分配量：50ul±5ul，這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的**控制要求稍低，*小分配量：500ul±50ul，用于辛烷或乙腈溶液 l  管子和注射器需要對溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強的耐受性 l  管子和注射器之間的所有連接都要連接良好，不能泄漏
控制軟件（特殊要求）	程序和存儲配方由步驟組成。 每個步驟至少具有以下可配置參數：時間、旋轉速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。 配方允許循環步驟的子集.. 控制軟件配方的典型示例： 步驟1：注液泵 1 分配 50ul 溶劑 步驟2：立刻，旋涂機開始以 3000 rpm 旋轉 30 秒并停止 步驟3：注液泵 2 分配 200ul 溶劑 步驟4：30 秒后，旋涂機開始以 3000 rpm 的速度旋轉 步驟5：10 秒后，注液泵 3 分配 1ml 溶劑 步驟6：40秒后，旋涂機停止 步驟7：重復10 次 步驟 1 至 6
吸盤	4片 (鋁合金，直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)
真空泵	無油泵
泵抽速	50 L/min
勻膠機尺寸	~290mm*365mm*300mm
勻膠機凈重	~20kg